自動勻膠顯影機(jī)

簡要描述：半導(dǎo)體顯影機(jī)是用于制造半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備。它的工作原理是在半導(dǎo)體制造過程中，使用化學(xué)顯影液對芯片表面進(jìn)行處理，將不需要的材料或圖形去除，從而形成所需的電路結(jié)構(gòu)。

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　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　高級伺服電機(jī)驅(qū)動，高精度、高重復(fù)性

　　工業(yè)級設(shè)計，PLC控制，7寸全彩觸屏操作

　　HDPE內(nèi)腔，不銹鋼外殼，耐溶劑PC透明蓋

　　可添加背部清洗和去邊膠功能，滿足工業(yè)用途

　　可添加防濺罩式清洗和顯影功能，滿足定制需要

　　適合處理超大或超重底物，最大處理12寸圓形底物

　　更大尺寸和重型底物以及內(nèi)腔抽真空等要求均可定制
半導(dǎo)體顯影機(jī)

　　產(chǎn)品參數(shù)：

　　轉(zhuǎn)速范圍：20-5000rpm(空載)

　　加速度可調(diào)范圍：20-10000rpm/s(空載)

　　單步時長：3000s

　　時間分辨率：0.1s

　　可編輯100組100步程序，更多可擴(kuò)展

　　外型尺寸：730mm(W)*750mm(D)*570mm(H)

　　包裝方式：木箱包裝

　　注：

　　可定制經(jīng)濟(jì)型手動擺臂功能模塊。

　　可定制左右雙功能模塊組合，如左去邊功能模塊，右顯影功能模塊。

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